Triklorosilaan

Triklorosilaan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) on värvitu, väga lenduv vedelik, millel on terav, lämmatav vesinikkloriidi lõhn. See keeb 31,8 kraadi juures ja reageerib ägedalt niiskusega. See on Siemensi protsessi peamine lähteaine fotogalvaaniliste päikesepatareide ja pooljuhtplaatide jaoks kõrge puhtusastmega polüräni tootmisel. TCS-i kasutatakse laialdaselt ka räni epitaksiaalvahvlite kasvatamisel, räniorgaanilises sünteesis (silikoonõlid, kummid, vaigud, sidestusained), CVD räni õhukese kilega sadestamises ja selektiivse redutseerijana orgaanilises sünteesis. Saadaval tööstusliku kvaliteediga (99,0% või rohkem) ja elektrooniliselt (puhtusaste kuni 9N). Klassifitseeritud kui veega reageeriv ja väga tuleohtlik (ÜRO 1295, klass 4.3+2.3, PG I) äärmiselt laia plahvatusohtlikkusega 1,2–90,5%; käsitseda ainult rangelt veevabades tingimustes kuiva lämmastiku kaitsega.